兩種電容式壓力傳感器。為單只變極距型拉繩開關電容傳感器，用于測量流體或氣體的壓力。液體或氣體壓力作用于彈性膜片，使膜片片產生位移，位移導致電容量的變化，從而眞起由該電容組成的振蕩器的振蕩頻率變化，頻率信號經計數(shù)、編碼、傳輸?shù)斤@示部分，即可指示壓力變化量。
一種小型差動式電容壓力傳感器。它由金屬彈性膜片片與鍍金凹型下班圓片組成。當被測壓力通過過濾器進入空腔時，由于彈性膜片兩側的壓力差，使彈性膜片凸向一側，產生位移，該位移改變了兩個鍍金下班圓片與彈性膜片間的電容量，通過如脈沖涼寬度調制等電路的處理可以實現(xiàn)壓力測量方法。這種傳感器的靈敏度和分辨率都很高。其靈敏度取決于初始間隙越小，靈敏度越高。根據(jù)實驗，該傳感器可以測量方法一定數(shù)值的微箥壓差。其動態(tài)響應顯然主要取決于片的固有頻率。 |
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